作為超精密磨削加工用砂輪多使用微粒金剛石(shí)砂輪,除鏡(jìng)麵磨削(xuē)用途外(wài),也可作為手機、數碼相(xiàng)機等ф200以下的小型(xíng)非球麵透鏡成型模具加工用砂輪。這(zhè)些模具由於是用作光學(xué)玻璃(lí)的熱(rè)壓成型,大多(duō)是硬質合金和工程陶瓷製成的。另外(wài),也在進行著用微(wēi)爛金剛石和工程陶瓷製成的。另外,也在進行著用微粒金剛石砂輪(lún)進行磨削加工直(zhí)接獲得非球麵透鏡的試驗。這些磨加工(gōng)所(suǒ)使用的金剛石粒度目前多為1500~3000#左右,可獲得形狀精度0.1微米以下,表麵粗糙度Ry40mm左右的加工精度。這些作為要求精度不太高的民生用光學透鏡的磨削已達到實用化,可尚未達到要求更高精度的大型非球麵透鏡的要求精度。
今後對微(wēi)粒金剛石砂輪要求的要素,需對超微金剛石磨料作固定磨粒使用時的磨粒特性進行研究。另外,其基本要素要考慮(lǜ)構成微粒金剛石砂輪的磨粒(lì)、結合劑、填料等各個原料,不陰礙健全地磨削加工,高精度的(de)均勻分散技術的開發也很重要。
超精(jīng)密加工用磨(mó)床的現狀可說是最小切入設定值幾年前100nm為(wéi)極限,可最近已製出更高精度的最小分(fèn)辨能為1nm,象限也調整到最小限度的磨床。雖然以往一直製造著粒(lì)度6000#以上的微粒金剛石砂輪,可在最小切入設(shè)定值100nm的磨床上尚未得出超微或近似超微粒金剛石砂輪的整形、修整及進行健(jiàn)全磨削的加工條(tiáo)件。今後,在更高精度磨床上的實用例會(huì)不斷(duàn)出現,加強微(wēi)粒金剛石砂輪的規格和加工條件等的(de)研(yán)究及推進其實用化。以下就正在實用化的超精密磨削用樹脂結合劑砂輪的加工實例及作為使用技(jì)術所必(bì)要的(de)整形、修整(zhěng)方(fāng)法加(jiā)以論述。
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